Вакуум карбюраци нь ажлын хэсгийг вакуумд халаах явдал юм.Энэ нь эгзэгтэй цэгээс дээш температурт хүрэхэд хэсэг хугацаанд үлдэж, хийгүйжүүлж, исэлдүүлсэн хальсыг зайлуулж, дараа нь цэвэршүүлсэн нүүрстөрөгчийн хийд орж карбюраци болон тархалтад оруулна.Вакуум карбюржуулалтын нүүрстөрөгчийн температур өндөр, 1030 ℃ хүртэл, нүүрстөрөгчийн хурд нь хурдан байдаг.Нүүрсжүүлсэн хэсгүүдийн гадаргуугийн идэвхжил нь хий тайлах, исэлдүүлэх замаар сайжруулдаг.Дараагийн тархалтын хурд хэт өндөр байна.Нүүрстөрөгчжүүлэлт ба диффузийг шаардлагатай гадаргуугийн концентраци болон гүнд хүрэх хүртэл олон удаа, ээлжлэн гүйцэтгэдэг.
Вакуум карбюрацийн гүн ба гадаргуугийн концентрацийг хянах боломжтой;Энэ нь металл эд ангиудын гадаргуугийн давхаргын металлургийн шинж чанарыг өөрчлөх боломжтой бөгөөд түүний үр дүнтэй карбюризацийн гүн нь бусад аргуудын бодит карбюризацийн гүнээс илүү гүн юм.