Онцлог шинж чанарууд:

1) Нитриджих хурд илүү хурдан, нитриджих мөчлөгийг зохих ёсоор богиносгож, ионы нитриджих хугацааг хийн нитриджих хугацааны 1/3-2/3 хүртэл богиносгож болно.

2) Нитриджүүлсэн давхаргын хэврэг чанар бага, плазмын нитриджүүлсэн гадаргуу дээр үүссэн цагаан давхарга нь маш нимгэн эсвэл огт байхгүй. Үүнээс гадна, нитриджүүлсэн давхаргын деформаци нь бага байдаг тул нарийн төвөгтэй хэлбэртэй нарийн эд ангиудад онцгой тохиромжтой.

3) Эрчим хүч болон аммиакийн хэрэглээг хэмнэж болно. Цахилгаан эрчим хүчний хэрэглээ нь хийн нитридийн 1/2-1/5, аммиакийн хэрэглээ нь хийн нитридийн 1/5-1/20 байна.

4) Орон нутгийн нитриджилтийг хэрэгжүүлэхэд хялбар бөгөөд нитриджилтийг хүсэхгүй байгаа хэсэг нь гэрэлтэлт үүсгэхгүй, нитриджилтгүй хэсгийг хамгаалахад хялбар бөгөөд гэрэлтэлтийг механик хамгаалалт болон төмөр хавтангаар хамгаалж болно.

5) Ионы бөмбөгдөлт нь гадаргууг цэвэршүүлж, идэвхгүйжүүлэх хальсыг автоматаар арилгаж чадна. Зэвэрдэггүй ган болон халуунд тэсвэртэй ганг идэвхгүйжүүлэх хальсыг урьдчилан авахгүйгээр шууд нитриджүүлж болно.

6) Нийлмэл давхаргын бүтэц, нэвчилттэй давхаргын зузаан болон бүтцийг хянаж болно.

7) Боловсруулалтын температурын хүрээ өргөн бөгөөд 350°C-аас доош температурт ч гэсэн тодорхой зузаантай нитрид давхаргыг гаргаж авах боломжтой.

8) Хөдөлмөрийн нөхцөл сайжирсан. Бохирдолгүй, плазмын азотжуулалтын боловсруулалтыг маш бага даралттай, утааны хий багатайгаар гүйцэтгэдэг. Хийн эх үүсвэр нь азот, устөрөгч, аммиак бөгөөд үндсэндээ ямар ч хортой бодис ялгаруулдаггүй.

9) Үүнийг зэвэрдэггүй ган, өндөр нитридлэх температуртай халуунд тэсвэртэй ган, багажны ган болон бага нитридлэх температуртай нарийн эд анги зэрэг бүх төрлийн материалд хэрэглэж болох бол бага температурт нитридлэх нь хийн нитрид хийхэд нэлээд хэцүү байдаг.