Ажлын онол：

Зуухыг вакуум соруулахын тулд урьдчилан шахаж, дараа нь тогтоосон температурт халааж, нитридийн процесст зориулж аммиакийг хийлж, дараа нь хэд хэдэн мөчлөгийн дараа нитридийн зорилтот гүнд хүрэхийн тулд дахин шахаж хийлнэ.

Давуу талууд:

Уламжлалт хийн нитридтэй харьцуул. Вакуум халаалтанд металл гадаргууг идэвхтэйгээр ашигласнаар вакуум нитрид нь илүү сайн адсорбцийн чадвартай бөгөөд процессын хугацаа бага, хатуулаг өндөр байдаг.нарийнхяналт, хийн хэрэглээ бага, илүү нягт цагаан нийлмэл давхарга.