Ажлын онол:

Зуухыг вакуумд урьдчилан шахаж, дараа нь тогтоосон температурт халааж, нитритийн процесст зориулж аммиакийг шахаж, нитридын гүнд хүрэхийн тулд хэд хэдэн мөчлөгийн дараа дахин шахаж шахна.

Давуу тал:

Уламжлалт хийн азотжуулалттай харьцуул. Вакуум халаалтанд металлын гадаргууг идэвхжүүлснээр вакуум азотжуулалт нь илүү сайн шингээх чадвартай бөгөөд процессын хугацаа бага, өндөр хатуулаг,нарийнхяналт, хий бага зарцуулалт, илүү нягт цагаан нийлмэл давхарга.